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                1200℃預加熱滑動雙溫區PECVD系統

                更新時間: 2023-11-02

                訪問次數: 20198

                產品報價:

                產品簡介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

                詳細資料:

                產品應用:

                PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

                產品組成:

                PECVD系統配置:

                1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

                2.滑動系統分為手動、電動滑動,并配置管內測溫系統。

                3.預加熱開啟式管式電爐

                4.等離子射頻電源

                5.多路質量流量控制系統

                6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

                產品特點:

                生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

                天津中環電爐股份有限公司  地址:天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號

                 

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